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  国家知识产权局信息数据显现，上海广川科技有限公司请求一项名为“一种晶圆升降设备及其晶圆加工设备”的专利，揭露号CN121075999A，请求日期为2025年9月。专利摘要显现，本发明供给了一种晶圆升降设备及其晶圆加工设备，其间该设备包含：升降单元、承载单元、封接组件，封接组件包含：套筒、引导模块、动轴模组，动轴模组包含：动轴件、转接件、波纹管、法兰件，波纹管两头别离与动轴件、法兰件衔接，动轴件的底座经转接件与升降单元的弹性端衔接、顶部与承载单元衔接，套筒与升降单元衔接，套在动轴模组外，法兰件与套筒顶部开口衔接，以使动轴件的轴杆经波纹管与套筒内腔阻隔，并经法兰件开口向套筒外伸，套筒侧壁设有行程窗，引导模块固定在套筒上，其引导端穿过行程窗与动轴件衔接，以协同套筒从轴向、径向约束波纹管的折叠/拉伸轨道。籍此以处理波纹管在升降过程中因歪曲、折叠反常形成的升降颤动问题。

  天眼查资料显现，上海广川科技有限公司，成立于2019年，坐落上海市，是一家以从事科技推广和使用服务业为主的企业。企业注册资本5398万人民币。经过天眼查大数据剖析，上海广川科技有限公司参加招投标项目4次，工业线条，此外企业还具有行政许可21个。

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